影像测量仪验收和校准项目标准速读版

一、术语

　　1、聚焦平面尺寸测量示值误差(Exy)

　　在平行于聚焦平面方向上的尺寸测量示值误差。

　　注:

　　1）在本规范中，XY平面默认为平行于聚焦平面，若不然,则须作相应标注(例如Exz或Eyz)

　　2）若仅沿平行于X轴方向或仅沿平行于Y轴方向得到的示值误差，可表示为Ex或Ey。

　　2、光轴方向尺寸测量示值误差(Ez)

　　在平行于影像探测系统光轴方向上的尺寸测量示值误差。

　　注:在本规范中，Z轴默认为平行于影像系统光轴，若不然,则须作相应标注(例如Ex或Ey)

　　3、影像探测系统尺寸测量示值误差(Ev)

　　在影像测量仪运动平台和影像探测系统不做任何移动的情况下，影像探测系统视场范围内的尺寸测量示值误差。

　　4、各截面测量结果一-致性(Es)

　　影像测量仪在沿光轴方向的不同截面上测量时，各截面坐标原点投影于XY平面的一致程度。

　　5、二维探测误差(P2D)

　　用影像测量仪测定平面圆形实物标准器的半径变化范围。

　　6、影像测头探测误差(Py)

　　用影像测量仪测定影像探测系统视场范围内平面圆形实物标准器的半径变化范围。

　　7、变倍探测误差(Pz)

　　采用变倍影像探测系统的影像测量仪，测量同-一个圆形目标，不同倍率下目标圆心坐标的示值变化范围。

　　二、校准项目

　　1、尺寸测量示值误差

　　对沿光轴方向上具有测量功能的影像测量仪，应校准下列尺寸测量示值误差：Exy、Ez、Ev。

　　注：

　　1）Ev只适用于在影像探测系统视场范围内具备测量功能的影像测量仪。

　　2）对于工作台不可移动的影像测量仪，只需校准Ev。

　　对沿光轴方向上具有定位功能的影像测量仪和只能在任何二维平面内作测量的影像测量仪，应校准下列尺寸测量示值误差：Exy、Ev；

　　注:

　　1）Ev只适用于能在影像探测系统视场范围内具备测量功能的影像测量仪。

　　2）对于工作台不可移动的影像测量仪，只需校准Ev。

　　2、各截面测量结果一致性(Es)

　　3、探测误差

　　3.1、二维探测误差(P2D)

　　注:对于工作台不可移动的影像测量仪无此要求。

　　3.2、影像测头探测误差(Py)

　　4、变倍探测误差(Pz)

　　三、注意事项

　　当进行校准时，应严格按照制造商所提供的仪器使用说明书操作，以下方面应特别注意：

　　a）仪器启动/预热程序；

　　b）测量系统标定；

　　c）影像系统放大倍数；

　　d）照明条件。